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貴州edi超純水設(shè)備,高純水在電子行業(yè)的應(yīng)用
在高純凈水設(shè)備的生產(chǎn)過程中,水中的陰、陽離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換樹脂技術(shù)等去除;水中的顆粒一般可用超濾、反滲透膜濾等技術(shù)去除;水中的細(xì)菌,目前國內(nèi)多采用加藥或紫外線UV燈照射或臭氧殺菌的方法去除;水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水應(yīng)用的領(lǐng)域中,水的純度直接關(guān)系到器件的性能、可靠性、閾值電壓,導(dǎo)致低擊穿,產(chǎn)生缺陷,還影響材料的少子壽命,因此高純水要求具有相當(dāng)高的純度和精度。
天然水中溶解的氣體主要有O2、、CO2、SO2和少量的CH4、氡氣、氯氣等,在高純水的生產(chǎn)過程中,還必需去除這類的氣體。為了有效的去除雜質(zhì),在 生產(chǎn)高純水的過程中,加入了一些化學(xué)殺菌劑,如甲醛、雙氧水、次氯酸鈉等。這些都是為什么高純水不能作為飲用水的原因之一。
從學(xué)術(shù)角度講,純水又名高純水,是指化學(xué)純度極高的水,其主要應(yīng)用在生物、化學(xué)化工、冶金、宇航、電力等領(lǐng)域,但其對水質(zhì)純度要求相當(dāng)高,所以一般應(yīng)用最普遍的還是電子工業(yè)。例如電力系統(tǒng)所用的純水,要求各雜質(zhì)含量低達(dá)到“微克/升”級。在純水的制作中,水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)所規(guī)定的各項(xiàng)指標(biāo)應(yīng)該根據(jù)電子(微電子)元器件(或材料)的生產(chǎn)工藝而 定(如普遍認(rèn)為造成電路性能破壞的顆粒物質(zhì)的尺寸為其線寬的1/5-1/10),但由于微電子技術(shù)的復(fù)雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多,至今尚無一份由工藝 試驗(yàn)得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。不過近年來電子級水標(biāo)準(zhǔn)也在不斷地修訂,而且高純水分析領(lǐng)域的許多突破和發(fā)展,新的儀器和新分析方法的不 斷應(yīng)用都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。
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